净化系统工程是指控制产品所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能(néng)在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可(kě)称為(wèi)净化系统工程。
净化工程是一个应用(yòng)行业非常广泛的基础性配套产业,21世纪在電(diàn)子信息、半导體(tǐ)、光電(diàn)子、精密制造、医药卫生、生物(wù)工程、航天航空、汽車(chē)喷涂等众多(duō)行业均有(yǒu)应用(yòng),并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。目前级别最高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小(xiǎo)。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产車(chē)间,物(wù)联网芯片的发展将是未来需求的一大方向,随着電(diàn)子元器件向微小(xiǎo)化方向发展,液晶面板已经升级至第八代,行业需求非常巨大。净化系统工程的分(fēn)类有(yǒu)以下几种:
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直線(xiàn)型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用(yòng)于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用(yòng)途场所,可(kě)并用(yòng)无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当長(cháng)一段时间。
层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直線(xiàn)型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用(yòng)于洁净室等级需定较高的环境使用(yòng),一般其洁净室等级為(wèi)Class1——100。其型式可(kě)分(fēn)為(wèi)二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可(kě)变成稳定。
缺点:建造费用(yòng)比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花(huā)板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可(kě)得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可(kě)快速排出室外而不会影响其它工作區(qū)域。
优点:管理(lǐ)容易,运转开始短时间内即可(kě)达稳定状态,不易為(wèi)作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用(yòng)较高,弹性运用(yòng)空间困难,天花(huā)板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式
复合式為(wèi)将乱流式及层流式予以复合或并用(yòng),可(kě)提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可(kě)节省安装运转费用(yòng)。此型式需将作业人员之工作區(qū)与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用(yòng)此种型式。
洁净隧道另有(yǒu)二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可(kě)在维修區(qū)轻易执行。
(2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产線(xiàn)包围并净化处理(lǐ),将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可(kě)得到良好之洁净度,可(kě)节省能(néng)源,不需人工的自动化生产線(xiàn)為(wèi)最适宜使用(yòng)。药品、食品业界及半导體(tǐ)业界均适用(yòng)。
(3)并装局部洁净室:将洁净室等级10,000——100,000之乱流洁净室内之产品制程區(qū)的洁净度等级提高為(wèi)10——1000级以上,以為(wèi)生产之用(yòng);洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作棚
為(wèi)在乱流式之洁净室空间内以防静電(diàn)之透明塑料布围成一小(xiǎo)空间,采用(yòng)独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成為(wèi)一较高级之洁净空间,其等级為(wèi)10——1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可(kě)為(wèi)弹性运用(yòng)。